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7-27
納米制造使用光刻工藝(193nm,EUV,EBL等)涉及廣泛的材料、技術(shù)和相關(guān)的處理步驟,以便生產(chǎn)明確的納米結(jié)構(gòu)。光刻膠的光刻對(duì)比曲線是工藝優(yōu)化的參數(shù)之一。光致抗蝕劑的對(duì)比度曲線是顯影后剩余的抗蝕劑膜厚度,作為對(duì)數(shù)繪制的曝光劑量的函數(shù)[1]。測(cè)量方法:在本篇應(yīng)用案例中,使用EBPG-5000+電子束工具以100千電子伏的速度在不同的曝光劑量下對(duì)負(fù)性抗蝕劑進(jìn)行曝光,生成100×100μm正方形的陣列,每個(gè)正方形對(duì)應(yīng)不同的曝光劑量。在顯影步驟之后,使用FR-μ探針顯微光譜儀工具在...
7-27
鈣鈦礦廣泛用于太陽(yáng)能電池的開(kāi)發(fā)。由于這些類(lèi)型的太陽(yáng)能電池具有良好的光伏性能,因此對(duì)它們進(jìn)行了系統(tǒng)的研究。鈣鈦礦薄膜的厚度和形態(tài)是影響太陽(yáng)能電池性能的重要因素。人們發(fā)現(xiàn),特別當(dāng)鈣鈦礦的厚度小于400nm時(shí),鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的效率很大程度上取決于薄膜厚度;而當(dāng)鈣鈦礦的厚度大于400nm時(shí),效率則很大程度上取決于鈣鈦礦層的薄膜形態(tài)。在本篇方案說(shuō)明中,我們使用FR-pRoVIS/NIR測(cè)量鈣鈦礦薄膜的厚度。FR-pRoVIS/NIR測(cè)量方法:用于表征的樣品是兩種不同厚度的CH3NH3...
7-27
簡(jiǎn)介硅基底的傳感器因其高性能、低成本和小尺寸而廣泛應(yīng)用于不同的MEMS微機(jī)電系統(tǒng)。懸浮在圖案上的硅膜或基于SOI的傳感器上的活性硅層的厚度對(duì)于控制最終平臺(tái)的性能至關(guān)重要[1]。在這里,我們已經(jīng)在一個(gè)MEMS微機(jī)電系統(tǒng)壓力傳感器上測(cè)量了硅薄膜厚度,使用的是孔徑為250μm的FR-μProbe,該工具安裝在一個(gè)徠卡分模光學(xué)顯微鏡上。使用10倍物鏡進(jìn)行測(cè)量,該物鏡與選定的孔徑大小一起對(duì)應(yīng)于25μm的光斑大小(測(cè)量區(qū)域)。使用內(nèi)部光源將FR-μProbe安裝在光學(xué)顯微鏡上測(cè)量方法獲得...
7-27
具有可控和可調(diào)節(jié)表面化學(xué)性質(zhì)的清潔表面對(duì)于改善材料的界面,生物和電子性能,以獲得*佳的設(shè)備和結(jié)構(gòu)性能至關(guān)重要。等離子體表面處理可去除納米級(jí)有機(jī)污染物,并在不影響整體材料的情況下改變表面化學(xué)性質(zhì)。等離子清洗的好處等離子體清潔是通過(guò)化學(xué)反應(yīng)(O2或空氣等離子體)或物理消融(Ar等離子體)去除有機(jī)污染物。等離子體處理還在表面上引入了化學(xué)官能團(tuán)(羰基,羧基,羥基),使大多數(shù)表面具有親水性,水接觸角的減小和潤(rùn)濕性的提高。清潔且親水的表面通常對(duì)于促進(jìn)附著力和增強(qiáng)與其他表面的粘合至關(guān)重要。...
7-21
WABASH平板硫化機(jī)主要用于硫化平型膠帶(如輸送帶、傳動(dòng)帶,簡(jiǎn)稱(chēng)平帶),它具有熱板單位面積壓力大,設(shè)備操作可靠和維修量少等優(yōu)點(diǎn)。平板硫化機(jī)的主要功能是提供硫化所需的壓力和溫度。壓力由液壓系統(tǒng)通過(guò)液壓缸產(chǎn)生,溫度由加熱介質(zhì)(通常為蒸汽)所提供。平帶平板硫化機(jī)按機(jī)架的結(jié)構(gòu)形式主要可分為柱式平帶平板硫化機(jī)和框式平帶平板硫化機(jī)兩類(lèi);按工作層數(shù)可有單層和雙層之分:按液壓系統(tǒng)工作介質(zhì)則可有油壓和水壓之分。WABASH平板硫化機(jī)操作方法:1、按模具尺寸和規(guī)定的單位壓力調(diào)整壓力表,嚴(yán)禁超壓...
7-7
MC應(yīng)用|Harrick等離子清洗機(jī)PDMS鍵合小能手!HarrickPlasma→PDMSBonding,時(shí)長(zhǎng)00:14應(yīng)用領(lǐng)域聚(二甲基硅氧烷)(PDMS)是基于硅酮的有機(jī)聚合物,因其低成本和多功能性而廣泛用于專(zhuān)業(yè)和學(xué)術(shù)研究實(shí)驗(yàn)室。PDMS是惰性的,透明的,可通過(guò)軟光刻輕松定制,該技術(shù)用于成型PDMS并將納米級(jí)特征和微通道壓印到其表面上。Harrick等離子清洗機(jī)可去除有機(jī)污染物并激活PDMS表面,以用于與玻璃,PDMS或其他經(jīng)過(guò)類(lèi)似處理的表面進(jìn)行粘合。PDMS鍵合于微流...
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科研圈|超逼真20張動(dòng)圖,秒懂四大電鏡原理(SEM,TEM,AFM,STM)!材料的顯微分析能獲得材料的組織結(jié)構(gòu),揭示材料基本性質(zhì)和基本規(guī)律,在材料測(cè)試技術(shù)中占重要的一環(huán)。對(duì)各種顯微分析設(shè)備諸如SEM、TEM、AFM、STM等,各位材料屆的小伙伴一定不會(huì)陌生。最近小編發(fā)現(xiàn)一些電鏡動(dòng)畫(huà),被驚艷到,原來(lái)枯燥無(wú)味的電鏡可以變得這么生動(dòng),閑言少敘,下面就和大家一起來(lái)分享。掃描電子顯微鏡(SEM)掃描電鏡成像是利用細(xì)聚焦高能電子束在樣件表面激發(fā)各種物理信號(hào),如二次電子、背散射電子等,通...
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