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PIE等離子清洗機

簡要描述:一、PIE等離子清洗機應(yīng)用
等離子清洗機清除樣品表面的污染物,去除光阻膠:產(chǎn)生表面活性功能組;
清洗提高材料表面親水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS;
表面活化:渲染表面的親水性或疏水性,鍵合和沉積前的表面預(yù)處理
表面聚合:沉積帶官能分子團的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;
表面改性:在材料表面產(chǎn)生官能分子團,高分子材料表面修飾;
去除表面殘留微生物,醫(yī)療器械的消毒和

  • 產(chǎn)品型號:Tergeo-Plus
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-05-16
  • 訪  問  量:2010

詳細介紹

二、Tergeo系列等離子清洗機的特點

1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器;

2、7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;

3、標(biāo)配75W版本,可選150W版本;

4、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。

 

三、技術(shù)參數(shù)

1、控制系統(tǒng)

1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟。

2、反應(yīng)腔體

1)腔體材質(zhì):圓柱形石英玻璃艙;

2)腔體容積:5.6L;

3)腔體尺寸:內(nèi)徑:160毫米,深度:280毫米。

3、射頻電源

1)射頻頻率:13.56MHz

2)射頻功率:標(biāo)配0~75W;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào),可選0~150W;。

4、等離子源

1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2)外置電極設(shè)計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5、氣體控制

1)氣路控制:標(biāo)配一路MFC;可選配三路MFC;

2)質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量;

3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

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