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通過以下總結的方法,能簡單的判斷晶圓劃片機出現故障的原因

更新時間:2020-07-23      點擊次數:1734
  在晶圓劃片機劃切過程中,晶圓在劃切時需要固定在吸盤上。在吸盤的表面加工有吸附槽,通過使吸附槽內產生低壓真空以將晶圓吸附在吸盤表面。
  由于劃切過程中主軸在高速的旋轉,刀片在劃切晶圓時產生很大的切削力,所以晶圓的吸附需要非常的穩(wěn)定和可靠。而現有的吸盤,存在吸附穩(wěn)定性差的問題。
  吸盤的吸附力的大小將直接影響到真空吸附的穩(wěn)定性,而吸附力的大小與吸盤表面設置的吸附槽的大小及形狀、布局等有關。并且,如果吸附槽中落入雜質,不能及時進行清理的話,將會影響真空吸附力,從而影響吸附穩(wěn)定性。而現有的吸盤,其上設有方形的吸附槽,而方形吸附槽內的雜質由于不易清理,嚴重地影響了其次吸附力,從而影響了吸附穩(wěn)定性。
  晶圓劃片機出現故障怎么維修?
  主軸抱死——主要原因是空氣回路不潔凈,過濾效果不好,特別是進入油、雜子造成氣孔堵塞而造成的。
  修理方法:首先,更換過濾器芯,過濾效果;其次,打開主軸重新研磨軸承內孔及端面,然后用航空汽油*清洗干凈即可。此操作一般用戶不具備條件,應送專業(yè)廠修理。
  振動過大——主要原因,一是主軸動平衡不好(包括刀盤),二是砂輪片動平衡不好。
  修理方法:主軸重新做動平衡達到合格,此操作一般用戶不具備條件,應送專業(yè)廠修理;或更換合格的砂輪片。
  跳動過大——主要原因是刀盤,或主軸加工精度不好,處理辦法:更換刀盤或主軸。
  溫升過大——主要原因,一是主軸冷卻不好,處理辦法:檢查冷卻水壓力、水溫和水量是否正常。二是電機過載發(fā)熱導致,主要原因是小馬拉大車,主軸功率偏小;處理辦法:降低加工范圍,或則更換功率大的主軸。
  電流過大——一是過載,二是電機質量不好。處理辦法:修理或更換主軸。
  噪聲過大——主要是氣流噪聲。處理辦法:修理或更換主軸。
  耗氣量過大——主要是主軸氣路密封不好漏氣,或軸系配合間隙過大。處理辦法:修理或更換主軸。
  軸系熱串動大——現象是,工件冷卻水開和停,主軸刀片軸向位移大,主要原因是主軸內部冷卻效果不好,或著是主軸內部冷卻結構不*,導致冷卻效果不好,處理辦法:修理或更換主軸。
  
 
  
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