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NXQ4006光刻機(jī)工作過程詳細(xì)介紹

更新時(shí)間:2018-03-13      點(diǎn)擊次數(shù):4388
  NXQ4006光刻機(jī)工作過程詳細(xì)介紹
  
  1.打開NXQ4006光刻機(jī)電源開關(guān),(右表板上標(biāo)有“電源”字的開關(guān)),燈亮,氣壓表顯示數(shù)值。
  
  此時(shí)檢查左表板上的“系統(tǒng)真空”表,看是否保持真空度≥-0.07MPa以上,否則要檢查漏氣原因并消除之。
  
  2.打開汞燈電源(左表板上標(biāo)有“汞燈”字樣的開關(guān)),指示燈亮。
  
  此時(shí)觀察電流表指針,直到指到4A左右,說明汞燈已點(diǎn)燃。
  
  zui少要15分鐘以后,汞燈亮度才能穩(wěn)定,操作者才能進(jìn)行以下工作。
  
  3.調(diào)節(jié)NXQ4006光刻機(jī)氣壓(左表板)
  
  觀察進(jìn)氣壓力,是否≥0.3Mpa,然后調(diào)節(jié)“給定壓力”=0.1kg/cm2。
  
  4.“真空吸版”
  
  將版放到版夾盤上,按“真空吸版”開關(guān)(面板上標(biāo)有“吸版”字樣的開關(guān)),指示燈亮。版被吸牢。如果“系統(tǒng)真空表”因這一動(dòng)作而掉表,應(yīng)查明原因,是否版不平,或者版和版夾盤上有雜物。
  
  5.“真空吸片”
  
  檢查承片臺(tái)表面是否清潔,放上片,按“真空吸片”開關(guān),(面板上標(biāo)有“吸片”字的開關(guān))燈亮,片被吸牢。
  
  如果片的底面不平,片不規(guī)則(如碎片)等,片的吸牢程度降低,而且“系統(tǒng)真空表”有掉表現(xiàn)象,如果嚴(yán)重,將影響吸片牢度。
  
  6.NXQ4006光刻機(jī)承片臺(tái)上升并使片頂版。
  
  承片臺(tái)上升時(shí),按“氣浮”鍵(面板上標(biāo)有“氣浮”字的開關(guān))燈亮,不放手直到頂升壓力回復(fù)到設(shè)計(jì)壓力。此時(shí),操作者觀察氣浮壓力數(shù)顯表,是否到預(yù)設(shè)壓力。如果到預(yù)設(shè)壓力,說明版、片已找平。停止頂版,并放手“氣浮”鍵,半球由“氣浮”狀態(tài)變成“真空吸球”狀態(tài)。
  
  
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